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不像其他的氣體傳輸泵,低溫泵在氣體捕集過程中會(huì)出現(xiàn)飽和情況,因此需要釋放吸附捕集的氣體以恢復(fù)捕集能力,稱之為再生過程。
低溫真空泵的再生其實(shí)包括部分再生(僅釋放二級(jí)冷板吸附的氣體)與全部再生(釋放所有冷板吸附的氣體)。本文要了解的就是低溫泵的全部再生的幾種方式。
一、自然升溫法。關(guān)掉制冷機(jī)后,利用泵壁的熱量使真空泵緩慢升溫。當(dāng)真空泵內(nèi)的壓力升到對(duì)流換熱起作用時(shí),升溫速率加快,隨后達(dá)到穩(wěn)定的升溫值。
二、放氣升溫法。關(guān)掉制冷機(jī)后,打開放氣閥放入清潔干燥的空氣,使低溫真空泵冷板快速升溫。
三、電加熱法。在低溫真空泵的一二級(jí)冷板上加裝電加熱器,再生時(shí)通過電加熱使低溫板快速升溫,縮短再生時(shí)間。
這幾種再生方式中,自然升溫適用于抽除少量氣體,并且不是連續(xù)長(zhǎng)期排氣的真空系統(tǒng),一般需時(shí)5~6小時(shí)。如果在要求快速再生的應(yīng)用中,就需要采用后兩種再生方式。
低溫真空泵在再生過程中,需要及時(shí)抽除釋放出來的氣體以防止可能出現(xiàn)的對(duì)泵體或真空計(jì)玻璃管管殼的破壞,甚至爆炸。因?yàn)樯郎氐揭欢囟葧r(shí),永久性氣體的解吸速度很快,在數(shù)分鐘之內(nèi)可使泵體內(nèi)壓力升高到一個(gè)大氣壓以上。